Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658410407
Price: 1455 CZK
Availability: InStock

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Autor: Ulrich Hilleringmann

Jazyk:

Vazba: Brožovaná

Vydavatel: Springer, Berlin

Dostupnost: Skladem u dodavatele

Odesíláme za 8-11 dnů

1 455 Kč

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...

Informace o knize

Autor

Ulrich Hilleringmann

Jazyk

Angličtina

Vazba

Kniha - Brožovaná

Vydáno

2023

Stránek

276

EAN

9783658410407

Enbook ID

43050800

Vydavatel

Springer, Berlin

Hmotnost

524

Rozměry

168 x 240

Kompletní popis

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

Mohlo by vás zajímat

Zákaznicí kteří koupili tuto knihu koupili také

Nejčastěji hledané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Nejčastěji hledané

Categories

Authors

Publishers

Produkty

Produkty

Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Informace o knize

Kompletní popis

Mohlo by vás zajímat

Zákaznicí kteří koupili tuto knihu koupili také